【问】多级管道泵怎么应用在光学镀膜上？
　    【答】多级管道泵怎么应用在光学镀膜过程能够降低成本，提高循环周期和生产力，同时极大地增加膜层粘合性和硬度以及可连续重复运行性。

　　加工和制造光学膜的工艺越来越复杂。为了同时满足镀膜的产量和质量，需要解决大量的棘手问题。从衬底的清洗和准备到最终检验和测试，而镀膜工序是真正的麻烦工序。

　　扩散泵已经应用在光学镀膜工业上大约30年了，很多人用习惯了，随着对镀膜质量要求的提高，需要更好的真空获得设备。好在我们有了多级管道泵，它能提供洁净、无油的真空;不仅如此，甚至在人员操作失误、断电和设备故障时，腔体和加工件都不会被污染。这与扩散泵系统故障后的情况形成鲜明的对比。扩散泵系统若出现上述故障，需要进行拆卸、清洗、重新组装、检漏和过程重新检查等处理过程。突然的真空度故障后，常规处理需要花费几天到一个礼拜的时间。

　　多级管道泵自身不放气：多级管道泵没有热的元件来造成放气，也不会使水蒸气热分解成氢气和氧气或产生甲烷。

　　而且，因为没有流体、移动部件或密封暴露在真空中，所以腐蚀、污染等故障都没有。

　　多级管道泵抽速大，能缩短镀膜周期，提高产量。在多级管道泵中唯一暴露在真空系统中的表面是低温冷凝板，它可以保持足够低的温度来冷凝并且容许镀膜腔内所有的气体进入多级管道泵。多级管道泵可提供对水的大抽速而不需任何液氮。多级管道泵对其他气体的抽速比相同尺寸的液氮冷阱/扩散泵组合大约高50%~100%。这些在抽速上的提高意味着在很短的时间就可达到所需的真空度，而且在处理过程中相同的条件下可使像氢气和氧气这样的反应气体的分压减少50%以上。