1.抽气速率

　　真空泵的抽气速率单位是m3/s或L/s，是指在泵的吸气口处装有标准试验罩，并按规定条件工作时，单位时间内从试验罩流过的气体体积，简称泵的抽速。

　　传统工业用真空泵体积普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和润滑机油，介质气体内会含有大量油雾。随着仪器仪表工业的发展以及人们对环保的要求，普遍有以下规律：泵的价格和真空度指标密切相关。真空度指标是各国生产商努力追求的主要指标，它反映了制造商的技术实力。要提高真空度指标，对零件精度和材料等都有更高的要求，因此生产成本就大幅度提高了，同时，流量的提高也会引起价格的攀升。

　　高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它对工作环境的清洁条件、温度参数和介质成分等均有更高的要求。

　　2.极限真空

　　真空泵的极限真空单位是Pa，将真空泵在入口处与标准试验检测容器相连并按规定条件工作，放入待测的气体后，进行长时间连续抽气，当容器内的气体压力不再下降而维持某一定值时，此压力称为泵的极限真空。该值越小则表明越接近理论真空。

　　普通真空表测得的真空值(即表压)为相对真空度，用负数表示，是指被测气体压力与大气压的差值。泵的抽气速率和真空度越高，振动和噪音也越大。

　　3.抽气量

　　真空泵的抽气量单位是Pam3/s或PaL/s，也即单位时间内流过的一定压力的气体体积，是指泵入口的气体流量。

　　4.压缩比

　　压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。

　　5.启动压强

　　真空泵的启动压强单位为Pa，它是指泵无损坏启动并有抽气作用时的压强。

　　6.最大工作压强

　　真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。

　　7.前级压强

　　真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。

　　8.最大前级压强

　　真空泵最大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。