1)抽气系统的检查。检查直联真空泵油的牌号是否正确、油位是否适中、油的外观是否异常等；裣查真空泵的性能、检查真空电磁阀的性能、检查抽气系统有无泄漏等。
　　2)直联真空泵机组气密性的检查。包括检漏和真空检漏。检漏通常采用压力检漏、电子卤素检漏、真空检漏和氦质谱检漏仪检漏四种方法。
　　a.压力检漏。直联真空泵机组总装完毕后，首先对直联真空泵机组进行压力检漏，步骤为：向直联真空泵机组内充人表压力为0.15MPa的氮气-检查法兰密封面、螺纹联接处、传热管胀接接头、焊缝等可能泄漏处，涂以肥皂水或其他发泡剂检漏-无泄漏点时，对直联真空泵机组进行保压检查。除去气候因素影响后，24h直联真空泵机组因泄漏导致的气体压力下降应在66.5Pa以内。
　　b.卤素检漏。由于溴化锂吸收式热泵直联真空泵机组筒体的充气压力限制和观察时间较长，不能满足低漏率的检测要求，为进一步提高直联真空泵机组的气密性，可在压力检漏后，再用灵敏度较高的电子卤素检漏仪检查，卤素检查用的卤素有R22、R134a等。
　　卤素检漏的方法为：先将直联真空泵机组抽空至50Pa的绝对压力，然后向直联真空泵机组内充人一定比例的氮气和氟利昂（如R22)，通常氟利昂可占20%,待气体充分混合后，用卤素检漏仪对焊缝、阀门、法兰密封面及螺纹接头等处检查。
　　卤素检漏合格后，需对直联真空泵机组抽真空。由于氟利昂扩散性强，直联真空泵机组中的氟利昂难以抽尽，解决办法是在直联真空泵机组抽成真空后，再向直联真空泵机组中充人一些氮气，和直联真空泵机组内的残留氟利昂混合，再将直联真空泵机组抽真空，这样反复几次，最后将直联真空泵机组抽成高真空。
　　c.真空检漏。直联真空泵机组在压力检漏合格后，为进一步验证在真空状态下的可靠程度，需要进行真空检漏，具体步骤为：使直联真空泵机组内不含水分-将直联真空泵机组通往大气的阀门全部关闭-用真空泵将直联真空泵机组抽至50Pa的绝对压力-保持24h,除去环境温度、压力的影响因素后，直联真空泵机组内绝对压力升高（或真空度降低）不超过5Pa(从低温热源吸热量小于1250kW的直联真空泵机组不超过10Pa)时，则直联真空泵机组在真空状态下的气密性是合格的。
　　d.氦质谱仪检漏。氦质谱仪是原子能工业中常用的一种检漏设备，现在吸收式直联真空泵机组中已得到广泛应用，其灵敏度极高，直联真空泵机组经其检漏后，可更进一步提高气密性，有利于直联真空泵机组的性能及寿命的提高。
　　(3)直联真空泵机组电气设备和自控元器件的检査
　　1)直联真空泵机组现场接线的检査。按照现场接线，检査电源及其设备的动力与互锁接线。
　　2)直联真空泵机组自动控制系统的检查。包括直联真空泵机组的元器件和控制箱内的元器件的检查、自动阀门和传感器及其安装以及接线情况的检査、屏蔽泵启动与关闭检查；屏蔽泵过载保护检查；燃烧器互锁保护检査；水低温保护检査；水流量保护检査；高压发生器高压开关检査；高压发生器高温开关检査；燃烧高温开关检查；高压发生器高或低液位开关检查；蒸发器工质水液位开关检查。
　　3)各控制系统检查后应恢复原状态。