旋片式真空泵的主要零部件：

　　1.转子

　　转子以一定的偏心距装在泵体内并与泵体内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个(或两个以上)旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵体内壁始终接触，此时旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。转子是旋片泵的核心部件，转子结构有三种形式：整体式、压套式和转子盘式。其中，整体式结构加工件和装配量少，但旋片槽加工较困难，难以达到高精度，较适于大泵;压套式结构，两半转子中间用衬块保证旋片槽宽度，加工精度要求高，装配复杂;转子盘式结构，两半转子盘用螺钉和锥销紧固后，两转子体之间形成旋片槽，这种结构零件多，加工装配量大，有较高的加工精度。

　　2.旋片

　　旋片与泵体之间构成了泵的工作容积，旋片是镶嵌在转子的径向槽里，可以自由滑动，当电机带动转子转动时，旋片在离心力和旋片底部弹簧力的双重作用下向外伸出，其顶部紧贴在泵体内表面上。因此，旋片要有一定的强度和耐磨性。旋片材料一般采用铸铁、石墨、高分子复合材料等，直联泵多采用高分子复合材料做旋片。

　　3.泵体

　　旋片式真空泵的泵体既是整个泵的外壳，实现泵内和泵外空间的分离，又在转子四周形成一个截面积逐步扩大或缩小的对称通道，形成一圆柱形空腔，圆柱形空腔的一侧安装有进气管道，圆柱形空腔上沿泵顶纵轴线位置设有排气口，排气口上安装有排气阀门，它的吸入口与真空容器或真空设备连接，在运转时容器内的气体将大量吸人与排出。通常由灰口铸铁HT250或球墨铸铁铸造制成，也有采用铸钢材料焊接制成，还有采用有机合成材料制成的，泵体是采用铣削成型后，再通过数控磨削进行加工。由于转子与旋片、旋片与泵腔之间滑动接触，磨损较大，消耗功率也较大，为防止长时间摩擦产生大量的热量造成泵体变形，旋片泵采用了自然冷却和水冷却两种冷却方式。

　　泵体是旋片式真空泵的主体，其结构有三种形式，即整体式、中壁压入式和组合式。其中，整体式结构要求加工精度高，高低真空级两腔同心度不易保证;中壁压入式结构高低真空腔为一整体，中壁有压力机压入或经冷却后装入两种方式，其结构简单、加工和装配量小，但中壁尺寸公差要求严格;组合式结构各零件易于加工，废品率低、互换性好，适于大批量生产，但加工面多，要求精度高。为保证泵腔内以及泵轴头密封处的润滑，泵体上开有专用的油路。

　　4.排气阀

　　排气阀是旋片泵主要易损件之一，将影响泵的抽气性能并产生噪声。排气阀有两种形式：一种是用橡胶垫做阀片;另一种是用布质酚醛层压板或弹簧钢片做阀片。排气阀必须浸在泵油中。在排气过程中，压缩气体推开排气阀片，穿过泵油后排出，泵油起到密封作用。在双级泵中，当高真空级腔与低真空级腔不等时，需要在两级之间设置辅助排气阀。辅助排气阀的作用是在入口压力较高、经高真空级腔压缩的气体已经达到排气压力时，辅助排气阀打开，部分气体由辅助排气阀排出，部分气体被低真空级腔抽走。随着泵入口压力的降低，辅助排气阀排气量逐渐减小，直至最后关闭。

　　气镇阀是旋片泵为抽除可凝性气体而设置的。通常，泵抽除的气体为永久性气体和可凝性气体的混合物。在压缩和排气的过程中，当可凝性气体的分压超过泵温对应的该气体饱和蒸气压时，可凝性气体会凝结并混于泵油中，随泵油循环，并在返回高真空侧时重新蒸发成蒸气。这会影响泵的抽气性能，加重泵油的污染程度。气镇法或称掺气法可以有效地防止可凝性气体的凝结，即在压缩过程中将经过控制的永久性气体(通常为室温干燥空气)由气镇孔掺入被压缩气体中，使可凝性气体分压未达到泵温对应的饱和蒸汽压力之前，压缩气体的压力已经达到排气压力，排气阀打开，可凝性气体同永久气体一同被排出。油封式机械真空泵普遍装有气镇装置，因此也叫气镇泵。气镇阀(掺气阀)由节流阀和逆止阀两部分组成。节流阀控制掺人气体量，逆止阀防止泵腔内气体压力高于掺气压力时出现返流。气镇孔位置的设置一般有两种：一种是在泵排气口附近，当压缩腔与排气口相通时，开始掺气;另一种是设置于端盖上，当吸气终了以后，转子再转过一个角度(100～150)时，露出气镇孔，开始掺气。在掺气过程中，泵的极限压力会上升，抽气速率会下降。在低压时，适当打开气镇阀，掺入少量气体，可以减少泵油冲击排气阀引起的噪声。高速直联泵在高的泵温(90℃～100℃)下运行，有利于可凝性气体的抽出。为了防止泵喷油、返油，改善泵的润滑条件，扩大泵的使用范围，旋片泵还配有多种附件，如油雾捕集器、分子过滤器、尘粒过滤器、化学过滤器、油过滤器等。随着技术进步和工艺要求的提高，旋片泵的结构更趋完善，性能不断提高。